Regler der Serie 64-5000 sind Absolutdruckminderer für subatmosphärische Anwendungen bzw. ultrahochreine Anwendungen mit einer Oberflächengüte innen von 10 Ra 0,25 µm. Eingangsdrücke von 8,3, 41,4 oder 241 bar (120, 600 oder 3 500 psig) mit Ausgangsdrücken von 50 mmHg abs. bis 1,0 bis 6,9 bar (50 mmHg abs. bis 15 bis 100 psig). Ideal für den Einsatz in Vakuumdruckregelungen, Analyse von giftigen Gasen, Ventil-Verteilerinseln, Gasflaschenschränken und Halbleiterfertigung.